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索 引 号 000201320KSP/2025-00014 主题分类 环境监测保护和治理
发布机构 投资促进局(政务服务局) 文  号
成文日期 2025-04-09 公文时效

晶圆级宽禁带半导体金刚石衬底材料制备项目内容公示

发布时间:2025-04-09 16:13 
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序号

项目

名称

建设

单位

环境影响

评价机构

评估单位

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1

晶圆级宽禁带半导体金刚石衬底材料制备项目

化合积电(呼和浩特)半导体科技有限公司

内蒙古华晨工程咨询有限公司


项目位于呼和浩特市经济技术开发区沙尔沁工业园区,项目厂区中心点经纬度为:经度:111°41′30.121″,纬度:40°33′2.856″。本项目建设年产20000片晶圆级宽禁带半导体金刚石衬底材料生产线。租用标准化厂房4号厂房,一层生产车间面积为1230㎡,拟放置型号为915MHz、70kW的MPCVD设备42台,配套5L/min流量制氢机22台,二层的生产车间面积为1385㎡,预配套MPCVD规格为:2450MHz105台,配套3L/min流量制氢机30台,危废库2㎡,同时配套冷却水系统、纯水制备系统等。项目总投资3000万元,其中环保投资22万元,占总投资比例的0.7%。

1、废气:⑴边界无组织非甲烷总烃可满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》 (GB37822-2019)表A.1厂区内VOCS无组织排放限值中特别排放限值要求以及《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中非甲烷总烃无组织排放限值4mg/m3要求。⑵喷砂无组织粉尘可以满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中颗粒物无组织排放限值1mg/m3的要求。

2、废水:本项目废水主要有生活污水和冷却塔冷凝废水及纯水制备系统废水;以上废水进入市政污水管网,最终排至园区污水处理厂,可满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中三级标准,同时满足园区污水处理厂接收水质标准。

3、噪声:本项目主要噪声源包括:冷却塔、新风机等。选用低噪声设备,采取设备减振,车间隔声措施后,厂界环境噪声须满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准的要求。

4、固废:本项目建成后产生的固废主要为生活垃圾、喷砂粉尘、废化学试剂瓶、废活性炭及滤芯、超声废液、检验不合格品。生活垃圾委托环卫部门处理;喷砂粉尘收集后由有资质单位处置;纯水过滤系统废活性炭及滤膜更换时厂家直接回收利用;不合格品收集后降级外售;超声废液、废化学试剂瓶暂存于危废库,定期委托有资质的单位进行处理。


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政策解读

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蒙公网安备15010502000012号 邮编:010111 邮箱:hhkfqxxgz@163.com

地址:呼和浩特市土默特左旗沙尔沁镇阳光大街呼和浩特经济技术开发区管理委员会 

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索 引 号 000201320KSP/2025-00014
主题分类 环境监测保护和治理
发文机构 投资促进局(政务服务局)
文  号
成文日期 2025-04-09
公文时效

晶圆级宽禁带半导体金刚石衬底材料制备项目内容公示

发布时间: 2025-04-09 16:13    
来源: 投资促进局(政务服务局)

序号

项目

名称

建设

单位

环境影响

评价机构

评估单位

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1

晶圆级宽禁带半导体金刚石衬底材料制备项目

化合积电(呼和浩特)半导体科技有限公司

内蒙古华晨工程咨询有限公司


项目位于呼和浩特市经济技术开发区沙尔沁工业园区,项目厂区中心点经纬度为:经度:111°41′30.121″,纬度:40°33′2.856″。本项目建设年产20000片晶圆级宽禁带半导体金刚石衬底材料生产线。租用标准化厂房4号厂房,一层生产车间面积为1230㎡,拟放置型号为915MHz、70kW的MPCVD设备42台,配套5L/min流量制氢机22台,二层的生产车间面积为1385㎡,预配套MPCVD规格为:2450MHz105台,配套3L/min流量制氢机30台,危废库2㎡,同时配套冷却水系统、纯水制备系统等。项目总投资3000万元,其中环保投资22万元,占总投资比例的0.7%。

1、废气:⑴边界无组织非甲烷总烃可满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》 (GB37822-2019)表A.1厂区内VOCS无组织排放限值中特别排放限值要求以及《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中非甲烷总烃无组织排放限值4mg/m3要求。⑵喷砂无组织粉尘可以满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中颗粒物无组织排放限值1mg/m3的要求。

2、废水:本项目废水主要有生活污水和冷却塔冷凝废水及纯水制备系统废水;以上废水进入市政污水管网,最终排至园区污水处理厂,可满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中三级标准,同时满足园区污水处理厂接收水质标准。

3、噪声:本项目主要噪声源包括:冷却塔、新风机等。选用低噪声设备,采取设备减振,车间隔声措施后,厂界环境噪声须满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准的要求。

4、固废:本项目建成后产生的固废主要为生活垃圾、喷砂粉尘、废化学试剂瓶、废活性炭及滤芯、超声废液、检验不合格品。生活垃圾委托环卫部门处理;喷砂粉尘收集后由有资质单位处置;纯水过滤系统废活性炭及滤膜更换时厂家直接回收利用;不合格品收集后降级外售;超声废液、废化学试剂瓶暂存于危废库,定期委托有资质的单位进行处理。


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